合肥真空镀膜公司欢迎来电 金百辰镀膜技术

真空手套箱用磁控溅射离子镀技术为黄铜电镀亮铬的卫生洁具镀制ZrN膜。真空手套箱设备采用基材为锆的非平衡磁控溅射靶和中频电源，以及脉冲偏压电源。

(1)抽真空

5 X 10-3～6.6 x 10-13Pa本底真空。真空手套箱设备加热温度应在真空室器壁放气后又回升到100～150℃。

(2)轰击清洗

真空度：通人气真空度保持在2～3Pa。轰击电压：800～1000V，脉冲占空比20%。轰击时间：10min。

(3)手套箱

①沉积锆底层

真空度：通入气，真空度保持在s x l0-1Pa。靶电压：400—550V，靶功率15 N 30W/Crrr2。脉冲偏压：450～500V，占空比20 %。手套箱时间：5～10min。

②镀ZrN膜

真空度：通入氮气，真空度保持在(3～5) x 10-1Pa。靶电压：400～550V，靶电流随靶的面积增大而加大。脉冲偏压：150～200V，占空比80 %。手套箱时间：20～30min。

由于真空手套箱磁控溅射技术中金属离化率低，不容易进行反应沉积，获得化合物膜层的工艺范围比较窄。真空手套箱设备可采用气体离子源将反应气体离化，扩大反应沉积的工艺范围。也可以采用柱状弧源产生的弧等离子体作为离化源，柱状弧源还是辅助手套箱源。

蒸镀材料种类

金属及非金属颗粒 ：铝蒸发料、镍蒸发料、铜蒸发料、银蒸发料、钛蒸发料、硅蒸发料、钒蒸发料、镁蒸发料、锡蒸发料、铬蒸发料、铟蒸发料、银铜蒸发料、金蒸发料、微晶银粉等。

氧化物 ：钛钽合金、锆钛合金、硅铝合金、三氧化二铝、二氧化锆、五氧化三钛、石英环、石英片、氧化铒、钛酸镧等

氟化物 ：氟化镁、氟化镝、等

PVD镀膜加工工艺流程比较长、工序繁多，发生故障的影响因素会很多。如PVD镀膜前处理不净、清洗不良、电解液成分失调及杂质污染、生产环境不良等。PVD镀膜而故障的原因往往存在于以上各影响因素的一两个细节之中。

PVD镀膜加工

PVD镀膜加工在影响产品质量的五大因素〔操作者、设备、材料、工艺方法及生产环境)中，人是位的。PVD镀膜故障的发生都与操作工技能和工作责任心有关。PVD镀膜生产管理人员对操作工指导和监督不力，这些在PVD镀膜企业较普遍存在的状况,PVD镀膜使得故障在所难免。要减少PVD镀膜生产故障，提高PVD镀膜从业人员的技能和工作责任心是十分重要的。

PVD镀膜加工生产故障是每个PVD镀膜企业都会遇到的问题，排除故障是PVD镀膜技术人员的重要职责。PVD镀膜实践出真知，PVD镀膜生产的实践性很强。要在调控PVD镀膜生产的全过程中做到遇障不惊，PVD镀膜途径就是在生产实践中摸爬滚打、坚韧实干、善于思考，不断探索和积累等。

工艺分为阳极电泳和阴极电泳。若涂料粒子带负电，工件为阳极，涂料粒子在电场力作用下在工件沉积成膜称为阳极电泳；反之，若涂料粒子带正电，工件为阴极，涂料粒子在工件上沉积成膜称为阴极电泳。

阳极电泳一般工艺流程为：工件前处理（除油→热水洗→除锈→冷水洗→磷化→热水洗→钝化）→阳极电泳→工件后处理（清水洗→烘干）。

1、除油。溶液一般为热碱性化学除油液，温度为60℃（蒸汽加热），时间为20min左右。

2、热水洗。温度60℃（蒸汽加热），时间2min。

3、除锈。用H2SO4或HCl ，例如用盐酸除锈液，HCl总酸度≥43点；游离酸度>41点；加清洗剂1.5%；室温下洗10～20min。

4、冷水洗。流动中冷水洗1min。

5、磷化。用中温磷化（60℃时磷化10min），磷化液可用市售成品。

上述工序亦可用喷砂→水洗代替。